Високо прецизне машине за производњу полупроводника су серво мотори. Серво уређаји нуде регулисано кретање потребно за рад силицијумских плочица, контролу процесне опреме и гарантују одличне приносе у индустрији у којој су тачност нанометарског нивоа, изузетна брзина и савршена поновљивост критични. Они су фундаментална технологија која омогућава Муров закон.
